RPO 층의 중요성은 무엇입니까?

[SP24]

어떤 사람은 RPO 레이어의 중요성에 대해 말씀해 주시겠습니까?

 

[shrbht]

그것은 salicide 차단 층인가요? 그것은 salicide을 막고 있어요, 그것은 이러한 다이오드, MOSFET과 같은 폴리 - 저항기, 보급 - 저항과 ESD 보호 장치에서 사용할 수 있습니다. 내 생각이 틀렸다면 Pls 날 수정하십시오. 감사

 

[sunny153]

또, 주로 폴리 RES의 저항력을 향상 / 유지하기 위해 실리 사이드 차단 층.

 

[2steps]

네, SMIC 매핑 레이어에 "SAB"라는 silide 차단 계층이며, 그 마스크 톤은 어두운 것입니다.

 

[vijay.kumarreddy]

그 이외의 salicided 영역 정의에 사용되는 보호 산화물 (RPO)를 대적했다.