을 실리콘 기판에 밈 콘덴서에 대해서> 특성화

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wizardz

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다른 기판 또는 MIM 커패시터가 실리콘)를 조정할 수있는 콘덴서를 사이에 번호판을하는 비슷한 절연체 stuctures (현재 MEMS 야 스위치 2가 금속

장치의이 종류의 특성화에 가치를 질문의 수 및 C가 우리가 할 수 하나를 사용 포트 S - 매개 변수 또는 2 포트 S - 유도하는 데 사용 될 매개 변수 측정과 둘 수 있습니다.
이 관계는 보유 :
S11oneport = S11 - S12 * S21 / (1 S22)
Sij 2 포트 S - 파라미터

하지만 차폐된 생각지도하는 효과는 기판 그들이 할 수 (도달 다른 결과로 많은 회로 구성 예 따라서 필터) 접지 도금 MIM 모자 이내 하나 금속 (보통 바닥 접시).따라서 이러한 장치는 측정 S를 포트 2가 될 수없는 특징입니다.커플링 기판으로이 측정 기술, 금속 수없는 심한 바닥에 방패를 계산합니다.

수 볼 줄 지점의 위 코멘트에있는 어떤 날.

 

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