왜 우리가 Micromachined 마이크로 안테나를위한 실리콘 기판에 SiO2 필요합니까?

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ihamieh

Guest
얘들아, 난 우리가 Micromachined 마이크로 안테나를위한 실리콘 기판에 SiO2 필요합니까 왜 그랬는지 모르겠어요? 난 그들이 무슨 이유에 선지시 기판 위에 SiO2의 얇은 레이어를 사용하는 여러 신문에서 본 적이있는 무슨지만, 에어 캐비티와 실리콘 기판에 직사각형 배열 안테나를 설계했습니다. 누가 아는가? 내가 도움말 고마워요, 샘 감사
 
에어 갭 캐비티와 배열 안테나는 조작하기가 어렵습니다. 일시 중지 구조는 프로세스를 자체 중량에 의한 에칭 중에 중단 될 수 있습니다.
 
안녕 Yadavvlsi 그래서, 우리는 패치를 입금 후 이산화 규소를 (SiO2)를 제거 할 것인가? 단지 내가 신문의 대부분은 계산 (패치 및 삽입된 페이지의 먹이 크기)에서이 레이어를 사용하지 않고 실리콘 기판에 SiO2를 사용하는 이유는 확실하지 않다 는거야 혼란을 것 같아요! 조언주세요
 
사람들이하지 연구 논문의 모든 정보를 제공 마십시오. 그들은 어떻게든하지만 두께를 계산 연구 논문에서 그것을 포기하지 마. 하나는 (제작 자체 SiO2 두께를 변경하여) 그것 또는 약간의 타격을하고 재판을 얻기 위해서 시뮬레이션을 사용합니다. 그들은 신문의 모든 데이터를 얻는다면, 아무도 자신들의 작품을 복제할 수 있습니다.
 
안녕하세요 Yadavvlsi, 당신은 우리가 패치를 아래에 침묵의 충분한 두께가있다면 우리는 제조 공정에서 SiO2을 생략할 수 있다고 생각합니까? 난 패치 및 공기 뱃속 250um 미만시의 두께 250um 생각하고 있어요! 제발 조언, 고마워요, 샘 [견적 = yadavvlsi가; 886265] 사람들이하지 않는 연구 논문의 모든 정보를 제공합니다. 그들은 어떻게든하지만 두께를 계산 연구 논문에서 그것을 포기하지 마. 하나는 (제작 자체 SiO2 두께를 변경하여) 그것 또는 약간의 타격을하고 재판을 얻기 위해서 시뮬레이션을 사용합니다. 그들은 신문의 모든 데이터를 얻는다면, 아무도 자신들의 작품을 복제할 수 있습니다. [/ 견적]을
 
당신은 연구 학자 있습니까? 당신이 디자인에 대한 어떤 도구를 사용하고 있습니까? 당신이 디자인의 캡처 화면을 게시할 수 있습니다.? SiO2 공기 구멍도없는 사용에 대한 구체적인 이유가 있나요?
 
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