-"왜 우리가 폴리 게이트로 사용합니까?

대신 폴리 메탈 게이트 기술을 사용하기 때문에이 작업을 함수 폴리 이는 가상화 기술을 의미합니다 낮은 금속, 더 이상의 기판을 침묵의 작동 기능과 일치 (이 스케일링)를 중요

또한, 폴리 대부분의 금속 온도보다 높은 저항을 가지고 ...

 
satyasiva,
그것은 오랜 세월 동안 폴리 게이트 재료로 만들기 때문에 사용되었습니다 참고 흥미 롭 기 MOSFET을 (금속 산화막 실리콘 필드 이펙트 트랜지스터를 붙이.
.
지금은 인텔 프로세서의 최신 제품군, 다시 높은 케이 유전체 하프늄 산화물과 폴리 게이트의 비호환 성으로 인해 금속 게이트를 사용하는 사라했다.우리는 완전한 동그라미 왔어요!
안부,
Kral

 
satyasiva 썼습니다 :

우리가 왜 폴리 게이트로 사용합니까?
 
금속 (알)의 존재가 초기 과정에서 게이트로 사용되었다.게이트의 더 낮은 저항 RF 애플 리케이션에 특히이다.

 
금속 때 트랜지스터의 크기를 정말 큰 1um 길이가 () 이상,하지만 forr 서브 미크론 기술을 ... 금속 소스 및 드레인 그래서 수있는 권리 사이에 누워 imposible는 너무 alignament했다`닥과 같은 문제가 사용되었습니다.

 
satyasiva,
마찬가지로 deh_fuhrer 언급했듯이, 폴리 금속보다 temeratures 견딜 수있습니다.이것은 인텔이 그들의 새로운 "안녕하세요 K"로부터 프로세스를 유전체로 극복했다 또 다른 걸림돌이됐다.이전 게이트를 먼저 채널에 의해 다음 입금했습니다.이후 하이 - K 및 유전체 단, 금속 게이트를 파괴하는 것이라고 고온 어닐링 공정을 필요로, 인텔은 "채널이 먼저"프로세스를 가야했다.이 모든 인텔의 "안녕하세요 K"로부터 이야기를 최신 IEEE 스펙트럼 잡지 경우에 당신이 관심이 설명되어있습니다.
안부,
Kral

 
초기 statge 있음, 게이트 금속 아메리칸지만, 나중에 폴리 오면.selfalignment 이유 중 하나입니다.좀 반도체 책에서 확인할 수있습니다.

 
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