왜 연락을 통해 정확한 크기가?

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dream_taker

Guest
왜 연락을 통해,하지만 (== 0.22um 말) 정확한 크기가 금속 일 싫어 최소 크기는> 0.23um (그냥 내 번호를 받고 있습니다. 그것은 할 수있는 기술에)되어야합니다. 그것에 대한 구체적인 이유가 있나요?
 
이 문제를 양보 때문이다. 사실은 최소 시작 크기입니다. 추신. 당신이 지역 /를 통해 연락처 (elecromigration 문제 등에 대한, 그것에 대한 전압 강하를 줄이기위한) icrease 번호를 더 연락이 필요한 경우.
 
하지만 그들은 그 분 디자인 규칙에 포기니까. 크기. 그들은 정확한 크기를 언급했다. 다음의 수율 문제가있다면 그것은 최소 크기보다는 정확한 크기하실 수 있습니다. 누구든지이 규칙을 아이디어 abt 먹어도 돼요?
 
이것은 그들이 오직 최소 크기, 당신은 (우리가 1u/1u을 상상할 수 있습니다)를 통해 큰를 만들 수 있다고 말했다면 때문에 정확한 크기 여야합니다. 이 경우, 금속 스트레스가 너무 중요하다 당신의 디자인에 부정적인 영향을 미칠 수 있습니다. 모든 fundary 있음, 경유는 정확한 크기가있다.
 
그것은 단지 스트레스 문제를 metall 아니에요. 당신은 CONTs 서로 다른 크기와 비아스있다면, 당신은 이상은 - 작은 크기와 피해 구조 CONTs과 비아스에 대한 문제를 에칭 얻을 수 있습니다.
 
당신은 웨이퍼 팹와 좋은 관계를 가지고있다면, 당신은 파도가 몇 가지 중요한 응용 프로그램에 대한 그들의 저항을 줄일 수 있습니다. 하지만, 그렇다면 그것은 자신의 위험과 통제된다!
 
0.35um 기술과 작은 들어, 연락처와 비아 크기는 보통 정확한 있습니다. 이것은 프로세스 때문입니다. 이 과정 자체는 문의 크기를 다를 수 있지만 약 + / - 0.05um 있습니다. 이것은 방법으로 글로벌 planarisation (씨엠 피)로 상호 금속 절연체 및 연락처의 형성과 텅스텐 플러그를 통해 사용됩니다 예정이다. 그것은 전혀 작동하지 않을 수 예 - 당신은 설계 규칙 이외의 크기를 다양 경우, 텅스텐 플러그 프로세스에 대해 심각한 영향을 미칠 것입니다. 일부 foudries 내가이로 (모서리 죽어 인감 사슴) 수율 문제를 일으킬 수있다는 않는게 좋겠죠 있지만, 한 방향으로만 dimemsion을 변경할 수 있습니다.
 
당신이 바로됩니다. 난 그것은 한 방향에서만 extention과 훨씬 적은 두 번 이상의 접촉 크기 했단 2 회. 하지만, 그것은 낮은 접촉 저항을 도왔습니다.
 
요즘 기술이 있음, 경유 및 연락처는 정확하게 크기가 공정 및 수율 문제의 통제 때문에되어 있습니다. 그러나 일부 오래된 바이폴라 공정 인치 경유와 연락하실 수 있습니다 다릅니다.
 
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