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ohenri100
Guest
문제 : 안녕 모두, 나는 시트 저항에 문제가있다. Fig.1에 표시된 밟은 도핑 프로파일은 실리콘 웨이퍼의 표면에 도달 있다고 가정합니다. 평균 이동성을 사용하여 [/ B 조]없이) 계산 시트 저항 [B 조]. 몇 가지 추가 처리 단계 후, 가정 그 Fig.2에있는 모양의 표시 엑스 변화 따라 도펀트 프로파일. 【URL = http://img695.imageshack.us/i/78535000.png/] [/ 그림] [/ URL을]을 http://img695.imageshack.us/img695/7018/78535000.png [그림] B 조) 그것은 엑스 = 0와 X = 4um 사이에 균일하게 여분의 도펀트 원자를 소개합니다 어떤 식으로든 수 있다고 가정합니다. 기증자 또는 수용체의 농도는 일정한 도펀트 프로필에 대한 위와 같은 시트 저항을 만들기 위해 추가되어야 Fig.2에 의해 그림으로. 도와 주셔서 감사합니다.