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--- 나는 어디에이 주제를 게시하려면, 그래서
내가 여기에 두었다 몰랐어!
누구나 좋은 기사 또는 도서에 그 과정을
설명 알고 LIGA
나는 인터넷을 검색했지만 아무것도 훨씬 유용한 발견!
난이 사이트를 발견 예를 들면 :
http://www.fzk.de/fzk/idcplg?IdcService=FZK&node=0329&lang=en
그 과정의 어느 날에 대한 짧은 설명이 유용하지 않습니다
나도이 기사를 찾았어, 아무도 나를 위해 그것을 업로드할 수있습니다 LIGA 도입하는 최초의 문서는 무엇입니까??
*****
싱크로 트론 방사선의 가로 세로 비율이 높은 제조 리소그래피에 의해 큰 구조 고소, galvanoforming 함께, 플라스틱 몰딩 (LIGA 공정) 미세
소스 Microelectronic 공학 아카이브
볼륨 4, 이슈 1 내용의 (5 월 1986) 테이블
페이지 : 35 - 56
발행 년도 : 1986
모를 :0167 - 9317
저자
EW 베커
승 Ehrfield
P Hagmann
한 Maner
D 조 Münchmeyer
제작사
Elsevier 과학
회사 옥스포드, 영국, 영국
*****
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