설계 설명서 금속 저항 매개 변수?

[allanvv]

나는 금속 resistances에 대한 내 프로세스 설계 설명서에 주어진 테이블을 이해하려고 노력 중이야. 그것은 제공 :. 단위 와이어 M1 잘라내기 너비의 길이 = 100nm 잘라내기 높이 = 200nm 저항 중간값 = 3 (옴 / 음) ^ 2 나는 단위 진짜 저항에 무슨 뜻인지 잘 모르겠어요 당 구리 치수 및 resistances을 1um X 1um 와이어는 sqrt (3) ohms 또는 어떤 지는거? 이 도식에서 계산된 매개 변수가 1um X 1um 와이어가 뭐라 일치하지 않습니다. 둘 다 3 ohms 수행합니다. 나는 이것이 보통 ohms / 광장에 주어진 줄 알았는데 ...

 

[johnjoe]

당신은 (옴 / 음) ^ 2시겠습니까? 옴 / 음 ^ 2을 위해 말 되네요 -> 시트 저항은 안부

 

[allanvv]

네, 그것은 (ohms / 음) ^ 2을 말합니다. 그들은 ohms / 평방에 폴리 등에 대한 저항력을 나열했다 위의. 그래서이 목적에서 수행되어야합니다 ... 이것이 처음은 아니지만이 디자인 설명서는 일부 잘못된 단위를했습니다. 나는 그들이 비록 금속 resistances 같은 중요한처럼 뭔가에 typo'd했을 거라고 생각하지 않습니다. 음 / 옴 ^ 2 옴 / 제곱과 동일합니다. 도요? 금속 저항은 3 ohms / 평방 오지 말았 어야지 때문에 어쨌든, 그들의 그림을 해석하는 것이 훨씬 이해가되지 않습니다.

 

[johnjoe]

2um ^ 2 = 2W * 1L는 2um ^ 2 = 1W * 2L 상통하기 때문에 옴 / 음 ^ 2는 또한 저항 올바르지 않습니다. 둘 다 동일한 저항이 확실하지위한 있습니다. 제 생각에도 ... 음 / 옴이나 옴 / 음 ^ 2가 올바르지 않습니다. 당신 옴 *의 음보다 트레이스의 특정 너비가있다면 유용합니다. 아마 주어진 값에서 약 시트 저항을 계산하는 것이 가능합니다. 관계 [COLOR = "실버"] [크기 = 1] ---------- 포스트 15시 31분에 추가 ---------- 이전 게시물 15시 28분 ----에 있었어요 ------ [/ 크기] [/COLOR]는 하나의 금속 층이 있나요?

 

[allanvv]

금속 레이어가 많이있어, 난 단지 (변경된) 번호 중 한 세트를 공개했다.

 

[johnjoe]

손으로 계산 최우수 아이디어, 다른 모든 것들은 어쩌면 당신이 저에게 당신의 프로세스 사양의 스크린샷을 보낼 수 추측된다?

 

[allanvv]

헤이 신경쓸 ... 어깨 두 의미 각주 그 사실을 알게 ...