무슨 "직접 웨이퍼를 쓰는"무엇입니까?

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친애하는 모든

내가 MOS 트랜지스터의 Pelgrom에 의해 작성된 것입니다 속성, 외 알 일치 읽고 있어요 마찬가지.

이 논문에서 그는 ""(DWW) 웨이퍼에 직접 작성했다.

난 그냥, 구글의 주요 단어를 검색했지만 아무것도 발견.

만약 누군가에 대해 말해 PLZ 알고.

감사합니다 정말 정말 정말 정말 !!!!!

 
난 "전자빔에 노출"로 웨이퍼, 어디로 대신 마스크와 일부 자외선을 사용하여, 그들은 전자 사용 패턴을 만들 수있는 것 같아 추천 웨이퍼 광선을 쏠 수 밖에.그럼 당신은 또한이 전자 빔에 민감한 특수 화학 소재 필요합니다.
이건 내 기억이 대학에 IC 기술에 대한 과정에서 리콜합니다.그래서 다른 사람이나 소스와 함께 확인해 주시기 바랍니다.
행운을 빕니다!

 

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