레이아웃"Vgs

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Vgs 항복 전압,기도 그레이 '예약 saysvgs 항복 전압들 독극물 검사실에 관한 6 ~ 7V 때 독극물 두께 10nm입니다. 현재 프로세스 독극물 IN 5nm에 대해서입니다. 어떤 Vgs 항복 전압을 낮추거나보다이 6 ~ 7V???

 
브레이크 다운 전압이 낮습니다.

때문에 산화물 내부 eletric 필드가 너무 높은 이유는 산화 휴식이다.이메일 = 승 / 독극물

이렇게하면 산화물 (독극물)의 두께가 작아집니다 다음에 필요한 전압을 주어진 eletric 필드 강도에 도달도 작아야한다.

 
항복 전압 V 0.6 ... 0.7 없는거 / 독극물 1 nm 정도.
그래서 항복 전압 3 V에서 3.5 V까지 독극물에 대한 같습니다 = 5 nm의

 

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