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정말 ....이 문제를 몇 가지 도움이 필요 해요
저기 게이트 영역과 같은 연락을 잘라 그 대신 두께 폭스 상단에 얇은 게이트 옥사이드입니다 바로 위에 폴리 실리콘 게이트 연락 최소 거리를 디자인 규칙입니다.
이러한 규칙에 대한 알루미늄의 접합 급상승 실리콘으로 확산 / 직접 접촉과 폴리 실리콘 때문일 수있습니다 이유입니다.이것은 이전 기술에 대한 약자 승 - 플러그 또는 장벽 레이어를 사용하지 않습니다 아직 유효하지 않습니다.
W의 도입 플러그와 장벽을 레이어 '로 함께 실리콘과 알루미늄의 직접 접촉하지 않도록 쿠션'.만약 우리가이 규칙을 위반하고 아래에 얇은 산화막과 게이트 트랜지스터 게이트의 상단에 직접 연락을 잘라 그곳에 어떤 잠재적인 안정성 문제가 있습니까???
저기 게이트 영역과 같은 연락을 잘라 그 대신 두께 폭스 상단에 얇은 게이트 옥사이드입니다 바로 위에 폴리 실리콘 게이트 연락 최소 거리를 디자인 규칙입니다.
이러한 규칙에 대한 알루미늄의 접합 급상승 실리콘으로 확산 / 직접 접촉과 폴리 실리콘 때문일 수있습니다 이유입니다.이것은 이전 기술에 대한 약자 승 - 플러그 또는 장벽 레이어를 사용하지 않습니다 아직 유효하지 않습니다.
W의 도입 플러그와 장벽을 레이어 '로 함께 실리콘과 알루미늄의 직접 접촉하지 않도록 쿠션'.만약 우리가이 규칙을 위반하고 아래에 얇은 산화막과 게이트 트랜지스터 게이트의 상단에 직접 연락을 잘라 그곳에 어떤 잠재적인 안정성 문제가 있습니까???