레이아웃"왜

Y

yousoo

Guest
난`공부하고 난 [IC에서 레이아웃을 기본] p.134 - 폴리와 함께 배선

질문이 하나 있는데.

폴리에 왜 게이트를 사용합니까?금속하지?

 
안녕,
MOSFET의 게이트 폴리 대신 금속 이렇게 사용하는 수법의 살인인 자기 정렬 구조입니다.뭐 자기 정렬 구조를 우리는 게이트를 만들기위한 금속을 사용하는 가정이 설명합니다.우리가 먼저 그 금속 레이어 소스 / 드레인 확산을 할 필요가있습니다.지금은 이렇게 금속 게이트를 완벽하게 소스와 드레인 diffusions 더 악화될 경우에 그렇게 금속 게이트 중 하나를 소스와 중복되지 않을 수있습니다 / 오차로 인해 일어날 수있는 하수구로 정렬되지 않을 수있습니다 일을했다.이 저하 MOS의 성능과 전 MOS 마찬가지로 작동하지 않을 수있습니다 같아요.그럼 어떻게 사용 ppl이 문제를 해결하려면 inorder 게이트 길이가이를 게이트 소스와 드레인 diffusions와 중복이되므로 증가했다.지금은이 방법으로 문제가 게이트 / 소스 오버랩 커패시턴스는 여기에 디자인에 영향을 미치는 큰 도움이됐다.또한 매우 작은 채널 길이 여기에 불가능했다.
폴리 만약 우리가 다음 우리가 어떻게 사용하여 우리가 처음에 폴리 실리콘 산화물 게이트 성장할 것입니다 그리고 우리 보급 할 예정 상단에있습니다.가능한 만든 화음이 완벽하게 소스와 드레인 확산 및 낮은 게이트와도 shoter 채널 길이와 alligned입니다 / 소스 보장 오버랩 커패시턴스.더 자세한 설명을 들어 Razavi 참조하시기 바랍니다 ..

도움이되기를 바랍니다.
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U를 사용하는 경우로서 금속 게이트, u를하면 불러 그래서, D 조 drivein, 그래서, D와 임플란트들해야 할 U 메탈 게이트 (게이트 알) 녹아들 예정하고, 사촌 임플란트 패들 selfaligned 할 수 없어 drivein () 먼저 다음 게이트 증착 anneal.

 
안녕하세요 leohart,
에 대한 설명을 주셔서 감사합니다 우리가 왜 자기 정렬에 사용하지 못할 금속.나는 이것에 대해 확신하지 못했습니다.

rgds
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안녕!

폴리 실리콘 금속에 비해 훨씬 높은 녹는 점이 및 높은 온도에서 금속을 증착하기 전에 어닐링 alllow 것입니다.

- 알추가 3 분 후 :안녕

그리고 ...어닐링 온도는 일반적으로 금속에 비해 너무 meltign 시점 이후에 금속으로 입금되었음을 미세 회로 anneal 수없습니다 높다.U

- 알

 
fredflinstone 썼습니다 :

더 자세한 설명을 들어 Razavi 참조하시기 바랍니다 ..프레드
 
안녕하세요 줄리안
자기에 대한 정보에 대한 MOS strcuture 정렬 Razavi 도서 페이지 613을 참조하십시오 아니라고했다.혼란을 만들기위한 미안 해요.
환호
프레드

 
나는 그것을 어딘가에서 인터넷에, 아마도 이것이 포럼을 사용할 생각합니다.

이건 검색을 시도

 
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