레이아웃"금속의

[dinesh hegde]

안녕,
왜 matsl 시트 금속 저항 증가 폭 다릅니다.(이론 시트 저항이 변하지 않고 그대로 있어야합니다)에 따르면.
이유는, 필자의 생각을 할 수
1.씨엠 피 때문에 두께 편차.
2.폭 감소 요인이 금속의 다른 너비 다를 수있습니다.

안부,
Dinesh

 

[erikl]

네 2 같아요.항목이 정확한지 :하지만, "감소 요인이 아니다"차이 ""(이 아래에 포함 에칭, 광학 해상도 오류 및 기타 절차에 따라 편차),하지만, 자사의 지속적인 공헌을, 어떤이 너비 종속성을 만듭니다.

매우 작은 구조의 크기를 보려면, 또한 너비 상대에 따라 (부정적인 계산) 이외의 부분 알 (Al2O3 산화 피부가 수행)이 효과 (폭 - 의존성은 상대적으로 "여러 측면의 산화에 기여"예정에 기여할 수있습니다 벽).

 

[dinesh hegde]

미안 해요, 두 번째 요점은 이해하지 못했습니다.자세한 설명한다.

 

[erikl]

dinesh hegde 썼습니다 :

미안 해요, 두 번째 요점은 이해하지 못했습니다.
자세한 설명한다.

 

[Guest]

[No message]

 

[sandeep_torgal]

Dinesh,
내가 CMP는 (화학적 기계적 연마)에 의한 생각합니다.구리 라인 dishing 고통과 침식을 CMP가 있기 때문입니다.따라서 시트 저항이 다릅니다.만약 당신이 아직 불분명합니다 알려줘.

안부,
Sandeep

 

[dinesh hegde]

난 둘 다 점이에 대한 공헌 바랍니다.감사합니다.

안부,
Dinesh