난 어떻게 사제 플라즈마 에칭을

[electronicman]

안녕, 난 어떻게 사제 플라즈마 에칭 시스템을 설계할 수있다?

파워 서플라이, 그리고
내가 어디 ,.... 등 자료를 넣을 수있습니다 etchant

 

[fvm]

플라즈마 Eching 정의된 기술보다는 더 포괄적인 용어입니다.대부분의 변종 압력 챔버와 진공 펌프가 필요합니다.당신은 당신의 애플 리케이션의 요구 사항을 좀 더 자세히 알고 있어야합니다.

 

[electronicman]

내가 뭐가 필요하기 위해서는 매우 높은 주파수에 대한 microstrip 구리를 사용하여 아주 작은 크기 극초단파 회로 설계에 에칭입니다.

감사합니다

 

[JoKKeR]

플라즈마 TV를?
플라즈마 상태가 유 소재를 찾을 수있습니다.

하지만 터무니없이 서두르다가 그것을 만들 압력 / 온도가 필요 ...

 

[sreevyas]

그것은 당신에게 복잡하게 될 수있습니다
넌 할 수있어

낮은 압력 챔버 적어도 도달해야 10e - 2torr
좀그때 그때 하나의베이스 플레이트와 일부 금속 플레이트 (높은 품질의 친위대)
이후의 수정 프로그램을 다른 두 개의 전극을 노리고있는 13.56MHz의 RF 발전기에 해당하는 assmble.다음 두 개의 전극 conect과 하나의 기판에 전극을 넣고 당신은 에칭 시스템을 얻을 것이다 염소 가스를 통과,하지만 상관 전체 염소 가스가 매우 corresive입니다

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