-"가짜 금속 여쭤볼까요?

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rahultcd

Guest
구리의 부작용에 대한 계정을 위해, 물리적 설계 툴, 바보야 금속 패턴을 삽입하는 금속을 작성, 그렇게 디자인 "파운드리에 의해"두께 편차 줄이기 위해 지정한 필요한 금속 밀도가 만나 자고 전화.

정확히 무엇이 가짜 금속 무엇입니까?wher가 연결되어 있습니까?
누군가가 정확히 어떻게해서이 인형 금속, 두께 편차 최소화하는 데 도움이 .. 채워 설명할 수 있을까요?

감사합니다
...............

 
더미 금속 채우기 paticular 영역에 대한 금속 밀도를 만족시키고있다.이상의 금속의 처지에 이르게하고 문제가 항복에 이르게하는 경우 밀도가 금속에 만족하지 않습니다.
만약 우리가 이러한 paticular 영역에서 이상의 밀도 단서 및 밀도를 만족하는 규칙 Slotting 따라 않았 큰 사각형 금속을 이끌어낼 수있습니다.
더미 금속이 도구에 의해 채워져있다면 수동으로 다음 GND로 공급 장치에 연결하는 더 나은 가득 찼 떠있는 남아있습니다.
두께 변화를 내가 더 좋은 생각이 안갑니다.

 
저기 마네킹 채우기를 사용하는 두 가지 주요 이유가있습니다 :

1.강력한 아미노산이 조작하는 동안 재료의 층을 식각 (예 : 사용되는 금속).만약 충분한 금속 칩 분야에 없다면, 산성 에칭을 시작할 수있습니다 - 저리 칩에있는 다른 자료를

2.때, 당신은 서로를 상단에 여러 개의 레이어를 구축하고있다 칩을 조작.반도체의 총 높이가 서로 다른 영역에서 그 지역에 소재 레이어에 따라 다를 수있습니다.만약 당신이 특정 지역에서 금속 충분하지 않으면, 칩의 높이 ""그 지역에서 늘어지게됩니다.이 빌드가 높은 금속 레이어 칩 중에 문제가 발생합니다.이러한 다이어그램에서 높이 칩 유사 볼 수있습니다 :<img src="http://www.aero.org/publications/crosslink/summer2003/images/03_01.gif" border="0" alt="dummy metal fill ?" title="가짜 금속 여쭤볼까요?"/>
<img src="http://mems.sandia.gov/images/fig2.gif" border="0" alt="dummy metal fill ?" title="가짜 금속 여쭤볼까요?"/>
<img src="http://www.nxp.com/news/backgrounders/bg9809/images/bg9809-1.gif" border="0" alt="dummy metal fill ?" title="가짜 금속 여쭤볼까요?"/>가짜 작성은 일반적으로 플로팅 (예 : 왼쪽 아무것도)에 연결되어있습니다.

 
Thnks

내가 통해 UR 점 이해.

하지만 가짜를 만났을때 THT 통해 UR 얘기를 기입 구제 fr과 두께 편차 금속의 부재로
인해 제거됩니다.하지만 난이 fr과 - 제가 효과를 씨엠 피가 (화학 기계적 연마) 생산을 보상하는
데 사용되는 더미를 만났을때 채우기에 언급했다.

이제 다음과 같은 읽기 ..

구리 ""들어, 금속 성분에 대한 패턴으로 새겨져있다
ILD 구리 새로 만든 참호로 전기됩니다.초과 구리 소재가 제거됩니다
화학 기계적 연마 단계.이 프로세스의 결과, 웨이퍼의 높이의 변화로 나타날 수있습니다
영역 금속 밀도가 균일하지 않습니다.
* (1) 광범위한 지역이 어디 금속 라인 침식, 체험할 수있는 존재
상태가 어디에 구리 재질을 너무 많이 제거됩니다.
* (2) 지역에서는 금속 라인 사이의 공간입니다
작은 유전체 dishing 발생할 수있습니다.그 결과 전기 편차 크다그래서 planarity 문제에 대한 규칙을 수정하려면 작성 금속을 기반으로 작성을위한 마네킹 금속을 삽입하는 일반적인 접근 방법입니다""균일한 금속 유통 및 적절한 planarization 달성질문 : : 문제 (1) & 해결하는 데 도움이 초과하는 인형을 작성하는 방법을 이해하지 그래서 난 (2)??Thnks ..

 
rahultcd :

그는 금속을 초과 문제를 줄이기 위해가는 기입 언급하지 않았다.그는 유일한 규칙을 기반으로 금속을 채우기 문제를 줄일 것이다.이제 귀하의 질문을 반복하시기 바랍니다, 우리는 이것에 대해 토론할 수!

 
thnx,

하지만 결국 그 모든 금속을 작성 여부를 기반으로 규칙 또는하지 않을 경우, 동일한 효과를 가집니다 ..

PLZ 읽고 질문을 올바르게 ..

thnx

 
이 링크를 클릭하십시오 (슬라이드 25-29) 첨부 파일을 볼 것을 권해드립니다으로 U

http://www.edaboard.com/viewtopic.php?t=275951&highlight=sp24

 
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